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转轮除湿机在半导体行业洁净室中的应用浅析

随着科技的进步和产品技能的不断提升以及我国对外开放的深化,大批的外资企业在我国设立其制作基地,特别是近年来半导体职业的大举进入,其全新的出产工艺及出产过程中对环境温、湿度、洁净度的较高要求,需求咱们提供一个比较有用且比较低能耗的空调体系,特别需求有低湿度的空调环境确保。

现在,空气除湿首要有四种方法,通风除湿、冷却除湿、液体吸湿剂除湿和固体吸附剂除湿。在空调除湿体系中,冷却除湿和固体吸附剂除湿是首要手法。冷却除湿在环境对湿度要求不是很高(RH≯60~65%)的条件下,效果还是比较好,性能安稳且能耗也比较低,现在使用比较广泛。但在出产环境对湿度要求较高(RH=45±5%)的当地,选用冷却除湿显着是不经济的。选用转轮除湿机,将不受空气露点影响,且除湿量大,特别适用于低湿条件下,但如果悉数除湿仅选用固态吸附原理的转轮除湿机进行,因为其再生耗能量也比较大,此种计划也不是较经济的。因为转轮除湿和冷却除湿各有所长,将其优化组合,各取所长,互补所短,会更好的发挥其效能。

半导体的出产工厂要在全年四季的气候条件下,出产车间内部要求保持安稳的环境,特别是关于出产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织,压力平衡等多个空调参数都提出了严厉的要求。有别于其他的恒温恒湿环境体系的要求,因为电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响,其对湿度的精度提出了严厉要求,关于空调体系的装备,则要求体系一起具有夏日除湿的功用和冬天加湿的功用。

一般的,半导体出产职业的温湿度条件为:T=22±2°C,RH=45±5%;而关于这个温湿度要求,传统上常常选用冷冻除湿+后加热(再热)方法进行处理,并取得了必定效果。但这种方法却存在着一个丧命问题,冷热的抵消和能耗的巨大浪费,特别是因为半导体职业的大新风,大排风体系、出产环境为大空间洁净环境以及现在许多厂首要会集分布在华南和华东地区的特殊情况,使得这个问题非常突出。

因而,在*的许多半导体厂房的空调体系开始使用新风经过新风机组(冷却除湿)和转轮除湿机联合处理湿度、温度而后经过后空调机组处理的组合方法,到达室内送风温、湿度要求,并取得了明显收益。

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