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转轮除湿机在半导体行业中应用浅析

转轮除湿机的工作原理。工业转轮除湿机以其显著的节能和环保优势,被公认为21世纪代替紧缩制冷除湿的技能之一。该机能快速、简单、有效地降低空气湿度,有效解决常温低湿、低温低湿等其他冷冻办法无法到达的除湿领域。特别是经过配套组合处理后,空气露点可达-70℃以下;此外,工业余热、废热、太阳能、天然气等低档次热能可作为可再生能源,无环境污染,能耗低。

半导体工业中的湿度要求半导体出产厂在一年四季的气候条件下坚持出产车间的安稳环境,特别对出产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织、压力平衡等空调参数提出了严厉的要求。不同于其他恒温恒湿环境体系的要求,因为电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其质量的影响,对湿度精度提出了严厉的要求。

关于空调体系的装备,要求体系在夏季一起具有除湿功能和冬季加湿功能。一般来说,半导体出产行业的温度和湿度条件为:t=22±2°c,相对湿度=45±5。关于这种温度和湿度要求,冷冻除湿然后加热(再加热)传统上用于处理,并且已经取得了某些结果。但是,这种方式存在着丧命的问题,冷热的抵消和能源消耗的巨大糟蹋,特别是因为半导体行业新鲜空气大、排气体系大、出产环境清洁空间大,以及许多工厂首要分布在华南和华东的特殊情况,使得这个问题十分突出。

依据不同的产品和出产工艺场合、房间巨细、热量和水分耗散、温度和湿度要求、清洁度要求等进行选型。在进行选型设计时,有必要进行清楚的咨询。

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